[PConline 資訊]據外媒報道稱，CEA技術研究所Leti開發了一種用于監測危險的化學物質排放和微量氣體的光聲光譜技術。與現有工具相比，這個技術可以幫助將這些系統的成本和尺寸降低10倍甚至更多。
據介紹稱，這個探測器還具有較高的抗外部噪聲能力和高靈敏度和選擇性，它將在Photonics West 2020的邀請論文中發表，題為“微型PA檢測器：突破集成在硅片上的中紅外光聲光譜技術的極限”。這個論文的主要作者吉恩-紀堯姆·庫塔德（Jean-Guillaume Coutard）介紹稱：“ PA電池的特殊設計可以提高對外部噪聲和測量條件變化的抵抗力，這一結果源于CEA-Leti的麥克風制造專有技術，它為將這些設備集成到便攜式檢測設備中開辟了道路。”
據了解，光聲（PA）光譜學是可用于監視危險化學物質排放和微量氣體的最靈敏技術之一。這個技術結合級聯激光器已在從工業控制到排放監測和生物醫學分析的眾多應用領域中使用，不過這種系統的大規模生產和廣泛使用將需要較小的占地面積和較低的制造成本。
CEA-Leti開發了不同版本的微型光聲電池，并演示了使用微型硅基PA電池檢測氣體痕跡的方法。缺點之一就是該系統依賴于商用MEMS麥克風，即使這些組件可靠并且滿足某些性能要求，它們也不專用于光聲氣體檢測也不易于集成到制造工藝流程中。
Leti開發的新型microPA技術結合了完全集成的MEMS麥克風和通過堆疊兩個200 mm Si晶圓而構建的中紅外光子學。傳感器晶片包括由MEMS機械膜片和納米壓阻計以及毛細管和流體端口制成的麥克風。第二個晶片是帽狀晶片，包括PA單元、擴展體積，可將光引導到PA單元中的SiGe波導以及電觸點。
編譯來源：Newelectronic
